在出产半导体元器件、锂电池、电芯等产品的时分，需求通过高温烘烤，在这一过程中，防氧化真空烘箱将被加热至所需温度，通常在200℃~400℃之间。通过供烤，可以去除设备内部和资料外表的湿气以及其他杂质，为接下来的出产制作做准备。你有没有想过，为何需求用防氧化真空烘箱而不是一般的高温箱呢？下面，小编就为我们解开这个疑问。

  防氧化真空烘箱是将涂敷BCB或PI的衬底放入线→真空置换后，选用多级升温保温的方法，在规则的时刻从室温升至榜首温度阶段，并在该温度段保温1-2h，再在规则的时刻从榜首温度升至第二温度阶段，并在该温度段保温必定的时刻；随后增通过辅佐的降温体系（水冷和风冷），将退火炉的温度降至80度左右，完结固化。

  在高温下，资料或样品容易与氧气产生反响并氧化，形成质量丢失或功能直线下降。通过向干燥箱或烘箱中充入氮气，可以更好的下降氧气浓度，削减氧化反响的产生。

  防氧化真空烘箱充氮气进入后，能避免试件外表由于高温加热后产生氧化变色。 惯例烘箱（电热恒温鼓风干燥箱或热风循环烘箱）通过高温加热鼓风循环后，有些易氧化的试件外表会大面积产生氧化，充入惰性气体后能某些特定的程度改进此类问题。

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